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万业企业旗下嘉芯半导体连续中标特色工艺线项目_中证网

王珞 中国证券报·中证网
  中证网讯(王珞)万业企业3月14日发布消息,公司旗下嘉芯迦能的高密度等离子薄膜沉积设备(HDP-CVD)再次中标特色工艺生产线建设招标项目。嘉芯迦能为嘉芯半导体子公司。

  据悉,自2022下半年开始,万业企业子公司嘉芯半导体多次中标多款设备。包含快速热处理(RTP)、氮化硅等离子刻蚀机、金属等离子刻蚀机、侧墙等离子刻蚀机、高密度等离子薄膜沉积设备(HDP-CVD)、二氧化硅等离子薄膜沉积设备(PECVD)、铝铜金属溅射设备(PVD)、掺杂硼磷二氧化硅薄膜化学沉积设备(SACVD)以及钛/氮化钛沉积设备(MOCVD)等。

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